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產品展示

當前位置:首頁產品展示檢測儀器MITUTOYO/日本三豐日本MITUTOYO超高精度CNC三次元測量機LEGEX

日本MITUTOYO超高精度CNC三次元測量機LEGEX
產品簡介:

日本MITUTOYO超高精度CNC三次元測量機LEGEX重新定義了納米級工業(yè)測量的新標準。該系列采用革命性的主動隔振系統(tǒng)和多軸溫度補償技術,在恒溫實驗室環(huán)境下可實現(xiàn)±0.5μm/1000mm的測量精度,重復測量精度達±0.3μm。創(chuàng)新的LEGEX框架結構配合納米級分辨率光柵尺,為半導體、光學元件等超精密制造領域提供可靠的測量保障。

產品型號:

更新時間:2025-07-26

廠商性質:代理商

訪 問 量 :406

服務熱線

028-68749778

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產品介紹
品牌MITUTOYO/日本三豐產地類別進口
價格區(qū)間面議產品種類龍門式
工作方式垂直式工作原理自動型
應用領域綜合

日本MITUTOYO超高精度CNC三次元測量機LEGEX

日本MITUTOYO超高精度CNC三次元測量機LEGEX

日本MITUTOYO超高精度CNC三次元測量機LEGEX


日本三豐LEGEX系列超高精度CNC三次元測量機代表著當今工業(yè)測量技術的強力之作,專為滿足納米級精密測量需求而設計。該產品采用了多項突破性技術創(chuàng)新,在測量精度、環(huán)境適應性和智能化程度方面都樹立了行業(yè)新標準。

核心技術創(chuàng)新LEGEX系列顯著的技術突破在于其革命性的測量系統(tǒng)架構。采用三豐的"超穩(wěn)定框架設計",通過復合碳纖維材料和特殊合金的優(yōu)化組合,實現(xiàn)了之前沒有過的結構穩(wěn)定性。測量系統(tǒng)搭載納米級分辨率的光柵尺,分辨率達到0.01μm,配合高剛性氣浮導軌,確保了測量過程中的絕對平穩(wěn)性。創(chuàng)新的主動隔振系統(tǒng)可以實時監(jiān)測并抵消環(huán)境振動,即使在普通車間環(huán)境下也能保持穩(wěn)定的測量性能。

環(huán)境控制系統(tǒng)為達到納米級測量精度,LEGEX系列配備了*的環(huán)境控制系統(tǒng)。包括:

  1. 多區(qū)域溫度補償系統(tǒng):采用16點溫度傳感器網絡,實時監(jiān)測設備各部位溫度變化

  2. 主動恒溫系統(tǒng):內置精密溫控裝置,可將設備核心區(qū)域溫度波動控制在±0.1℃范圍內

  3. 氣流管理系統(tǒng):設計的層流系統(tǒng),有效隔離外界氣流干擾

智能測量系統(tǒng)LEGEX系列搭載三豐最新研發(fā)的M-ULTRA智能控制系統(tǒng),具有以下特點:

  • 支持5軸聯(lián)動納米級測量

  • 自動測頭識別與校準功能

  • 智能路徑規(guī)劃算法

  • 實時誤差補償技術

應用領域該系列產品主要服務于以下制造領域:

  1. 半導體制造:晶圓檢測、光刻機零部件測量

  2. 精密光學:透鏡、棱鏡等光學元件檢測

  3. 航空航天:發(fā)動機葉片、精密結構件測量

  4. 醫(yī)療器械:人工關節(jié)、精密手術器械檢測

服務支持三豐為LEGEX系列提供的技術支持:

  • 專業(yè)實驗室環(huán)境評估

  • 定制化測量方案設計

  • 定期精度認證服務

  • 專屬技術團隊支持

LEGEX系列不僅是一臺測量設備,更是推動制造業(yè)向納米級精度邁進的關鍵工具,為制造領域提供了可靠的質控保障。

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