產品型號：
更新時間：2025-11-18
廠商性質：代理商
訪 問 量 ：318
028-68749778
產品分類
| 品牌 | FLUORO/日本福樂 | 應用領域 | 綜合 |
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日本FLUORO福樂 851-L 抗靜電真空管線
日本FLUORO福樂 851-L 抗靜電真空管線
日本FLUORO福樂（Fluoro Mechanic）是一家專注于半導體晶圓處理工具的制造商，其產品線包括真空吸筆、晶圓夾、無油隔膜式真空泵以及真空管線等?。在半導體制造等精密工業中，抗靜電是至關重要的要求，因此其真空吸筆和配套管線都設計有抗靜電功能。
抗靜電真空管線的通用特性
851-L型號，但提到了配套抗靜電真空吸筆所需的真空管線應具備?表面電阻率在103-10?Ω/cm2?的特性，以確保系統無靜電累積風險?。這通常意味著管線本身由具有導電或抗靜電性能的材料制成，能夠有效導走操作過程中產生的靜電荷，保護敏感的晶圓等元件免受靜電損傷。
與抗靜電真空吸筆的配套使用
FLUORO福樂的抗靜電真空吸筆（如C003型號）在操作時，需要與無油隔膜真空泵及抗靜電真空管線配合使用，共同構成一個完整的無靜電吸附系統?。這種系統廣泛應用于半導體晶圓的無損搬運、鐘表、珠寶制造等對潔凈度和防靜電有嚴苛要求的場景?。
產品系列與選擇
FLUORO福樂提供了多樣化的產品系列以滿足不同需求，包括抗靜電系列和防酸系列等?。在選擇真空管線時，可能需要根據具體的應用環境（如是否需要耐化學腐蝕）以及所搭配的吸筆型號（如F001、F002、C003等）來匹配合適的管線?。
| 最大應用壓力： 100% = 8.0 kgf/cm2 |
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| 型號 | D1 | D2 | L1 | L2 | L3 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 851-L | 6mm | 4mm | 400mm | 500mm | 1000mm | 118g |
| 851-M | 5mm | 3mm | 400mm | 500mm | 1000mm | 84g |
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