產品型號：
更新時間：2026-04-02
廠商性質：代理商
訪 問 量 ：225
028-68749778
產品分類
| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵軸位置 | 臥式 | 葉輪數目 | 其他 |
| 應用領域 | 綜合 |
日本ULVAC愛發科螺桿式干式真空泵MS120A
日本ULVAC愛發科螺桿式干式真空泵MS120A
對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理以提高耐腐蝕性
通過應用ULVAC獨特的設計轉子軸，粉末排氣表現出高性能。
實現近常壓連續抽氣
半導體和電子設備制造設備的真空系統
刻蝕、清洗、等離子體清潔等
爐用真空系統
燒結、滲碳等
鋰離子電池制造設備的真空系統
電極干燥、脫氣、真空注入等
醫療和食品的真空系統
冷凍干燥、真空干燥等
＊MS1200A 可以單獨提供，帶有額外的控制板和傳感器。請聯系我們了解詳情。
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 泵速 *1 | 米3/小時 | 115 | 560 | 980 |
| 壓力 | 帕 | ≤0.6 | ≤0.1 | |
| 電源 | 200V 等級：三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或 400V 等級：三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 功耗 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 置換氣體流量 *1 | 選擇性激光熔化 | 0 - 50 | ||
| 水汽耐受性 *1*3 | 千克/小時 | 1.5 | ||
| 噪音 *2 | 分貝（A） | 61 | 62 | 64 |
| 入口端口 | KF50(水平) / VG50(垂直) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 輸出端口 | KF40 | |||
| 重量 *4 | 千克 | 139 | 241 | 264 |
| 適用標準 | CE, cTUVus | |||
| 標準配件 | 快速手冊，電源連接器，防水電纜夾，遙控連接器，電源連接器護罩，消音器 | |||
| 泵頭選項 | 電源：200V 級或 400V 級 密封材料：FKM 或 FFKM | |||
| 外部選項 | 包裝排氣口，防震支架，LR兼容裝置（入口，遙控），吹掃氣體閥 | |||
*1：參考值
*2：在極限壓力下（僅作參考）
*3：水蒸氣耐受值是在使用吹掃氣體時的值。
*4：包括消音器
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