產品型號：
更新時間：2026-04-03
廠商性質：代理商
訪 問 量 ：217
028-68749778
產品分類
| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵軸位置 | 臥式 | 葉輪數目 | 其他 |
| 應用領域 | 綜合 |
日本ULVAC愛發科高真空泵低溫泵CRYO-U4H
日本ULVAC愛發科高真空泵低溫泵CRYO-U4H
CRYO-U4H是日本ULVAC（愛發科）推出的一款高真空低溫泵，隸屬于CRYO-U系列，依托品牌70余年真空技術積淀，專為半導體、電子設備、光學及科研等領域的高真空需求場景設計。該產品采用兩級GM制冷機技術，可穩定實現高真空至超高真空環境，為精密制造與前沿研究提供可靠的真空保障。
抽氣效率：作為4英寸規格低溫泵，CRYO-U4H具備強勁抽速表現，20℃環境下氮抽速可達450升/秒，氫抽速500升/秒，水抽速更是高達1100升/秒，能快速建立并維持真空環境，顯著提升生產與實驗效率。極限壓力可達10^-7帕，滿足超高真空應用標準。
智能集群控制：支持單壓縮機驅動多臺泵體運行，最多可串聯4臺CRYO-U4H，大幅降低設備投入與運維成本，尤其適合多工位生產線集中管控。
定制化適配：可根據客戶應用場景進行針對性設計調整，如優化冷卻路徑、適配特殊接口等，靈活匹配半導體濺射工藝、小型精密儀器研發等多樣化需求。
產品采用閉式循環氦制冷系統，無需頻繁補充冷卻液，實現長期穩定運行。制冷機分為兩級：一級制冷能力強勁，可將溫度降至80K以下，為二級制冷提供熱屏蔽；二級制冷雖功率較小，但能將冷頭溫度降至10-12K，通過15K低溫面板實現氣體冷凝與吸附。80K級屏蔽層有效減少熱輻射干擾，保障低溫面板制冷效率。整機重量僅14.5公斤，緊湊設計節省安裝空間，同時具備低震動、低噪音特性，適配精密環境要求。
ULVAC作為全球真空技術企業，在蘇州、上海、成都等地設立生產與服務基地，為中國客戶提供本地化技術支持與售后保障。CRYO-U4H憑借穩定性能與品牌口碑，成為半導體芯片制造、光學元件鍍膜等領域的核心真空設備之一
4英寸低溫泵的出色抽氣性能
高泵速提高了泵送效率和生產力。
理想用于半導體制造的濺射過程，或其它小型設備
一個壓縮機可以驅動多達四個裝置。
定制設計可以滿足您的需求。
| 泵速 (20℃) | 氮 | 中長褲 | 450 |
| 氫氣 | 500 | ||
| 氬 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 壓力 | 帕 | 10-7 | |
| 最大流量 | 氬 | 帕?L/秒 | 1.3×103 |
| 泵的容量 | 氬 | 帕?L | 1.0×107 |
| 氫氣 | 1.5×105 | ||
| 冷卻時間 | 最小(50/60Hz) | 45/50 | |
| 重量 | 千克 | 14.5 | |
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