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產品展示

當前位置:首頁產品展示生產工具耗材ULVAC/日本愛發科日本ULVAC愛發科氣體分析儀Qulee BGM2-101

日本ULVAC愛發科氣體分析儀Qulee BGM2-101
產品簡介:

日本ULVAC愛發科氣體分析儀Qulee BGM2-101“Qulee“(發音為“KLEE“),是ULVAC最新的殘余氣體分析型號。來自各個生產線的設施工程師反饋被納入了新產品設計,提供簡便性。

產品型號:

更新時間:2026-04-08

廠商性質:代理商

訪 問 量 :210

服務熱線

028-68749778

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產品介紹
品牌ULVAC/日本愛發科輸送介質其他
泵軸位置臥式葉輪數目其他
應用領域綜合

日本ULVAC愛發科氣體分析儀Qulee BGM2-101

日本ULVAC愛發科氣體分析儀Qulee BGM2-101

日本ULVAC愛發科氣體分析儀Qulee BGM2-101

功能

適用于RGA應用

  • 通信接口
    以太網兼容

  • 一體化顯示屏
    無需電腦

  • 簡單操作
    “一鍵"功能

    烘焙
    最高120℃ (248°F) 高溫烘焙 (250℃ (482°F) 當傳感器被移除時)

  • 脫氣功能
    電子轟擊脫氣

  • 保護和維護功能
    離子源和二次電子倍增器保護維護幫助功能

  • 提供各種泄漏測試
    氦氣泄漏測試、空氣泄漏測試、泄漏檢測

  • 總壓測量
    具備總壓測量能力

  • Qulee QCS 包含在內
    此軟件包含在內并兼容 (Windows 8/10/11)

  • 適用標準
    符合CE

應用程序

  • 有機電致發光的殘余氣體分析

  • 光伏、平板顯示器和半導體制造系統的殘余氣體監測

  • PVD系統和真空鍍膜中的殘余氣體分析

  • 高真空泵設備的殘余氣體分析等。

  • 凍干系統殘余氣體分析

  • 各種類型氣體分析用于研發

規格

分辨率 M/△M=1M(10% P.H.)

模型BGM2-101BGM2-201BGM2-102BGM2-202
質量過濾器類型四極矩
質量范圍1~100 道1~200 道爾頓1~100 道1~200 道爾頓
探測器類型法拉第杯電磁管
法拉第杯
敏感度10-7絕對壓力 / 毫米汞柱4A / 毫巴
1.3×10-5安培 / 托533A / 托爾
7.5×10-6安培 / 毫巴400A / 毫巴
可檢測分壓約10-8約10-12
大約7.5.10-11約10-15
約1×10-10毫巴約1×10-14毫巴
最大工作壓力1x10-2
總壓力函數7.5×10-5 渦輪
1.3×10-4毫巴
一鍵功能能夠 / 他 / H2氧 / N/ 氧/ 任何氣體
一鍵
泄漏測試功能
有能力的
輸入功率DC24V±10% 50W
最大傳感器
工作溫度
120℃ (248°F )
最高烘烤
溫度(電子元件已移除)
250℃ (482 °F )
工作溫度范圍10到40℃ (50到104 °F)
軟件Qulee QCS 版本 4.2 及以后 (Windows 8/10/11)

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