日本OSAKA大阪真空渦輪分子泵TGkine2200M-R

日本OSAKA大阪真空渦輪分子泵TGkine2200M-R

TGkine2200M-R是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁懸浮軸承型渦輪分子泵，專為半導(dǎo)體制造、FPD（平板顯示器）制造、太陽能電池制造以及光學(xué)元件加工等需要超高真空環(huán)境的領(lǐng)域設(shè)計。

該泵采用優(yōu)良的磁懸浮軸承技術(shù)，實現(xiàn)了無油排氣，消除了機械接觸，減少了磨損和振動，延長了泵的使用壽命，同時降低了維護成本。磁懸浮軸承的應(yīng)用還使得泵體可以在任意角度安裝，適應(yīng)各種復(fù)雜的工作環(huán)境。

TGkine2200M-R集成了電源控制器與分子泵的一體化設(shè)計，省去了輸出電纜和控制器機架，顯著減少了設(shè)備的占地面積，簡化了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，提高了整體可靠性。在性能方面，該泵具有出色的排氣性能，其抽速可達2200 L/s（具體數(shù)值可能因型號和配置略有差異），能夠滿足大流量氣體排放的需求。同時，該泵還具備高壓縮比，可形成穩(wěn)定的超高真空環(huán)境，極限壓力低于5×10?? Pa。

此外，TGkine2200M-R還具備省電設(shè)計，能夠在保證高抽速的同時，有效降低能耗，為企業(yè)節(jié)省運營成本。該泵還支持多種通信接口，便于與各種控制系統(tǒng)進行集成，實現(xiàn)遠程監(jiān)控和自動化操作。同時，該泵符合CE、NRTL、SEMI-S2等國際安全標(biāo)準(zhǔn)，確保了產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)的通用性和安全性。

TGkine2200M-R還具備數(shù)據(jù)存儲功能，運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中，即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸所有數(shù)據(jù)，方便用戶進行設(shè)備管理和維護。