日本OSAKA大阪磁懸浮軸承渦輪分子泵TG1300M

日本OSAKA大阪磁懸浮軸承渦輪分子泵TG1300M

是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁懸浮軸承型渦輪分子泵，專為半導體制造、FPD（平板顯示器）制造、太陽能電池制造以及光學元件加工等需要超高真空環境的領域設計。

該泵采用優良的磁懸浮軸承技術，實現了無油排氣，消除了機械接觸，減少了磨損和振動，延長了泵的使用壽命，同時降低了維護成本。磁懸浮軸承的應用還使得泵體可以在任意角度安裝，適應各種復雜的工作環境。

TG1300M具有出色的排氣性能，其抽速可達1300L/s（N?標稱抽速），加裝金屬保護網后有效抽速仍可達1230L/s，能夠滿足大流量氣體排放的需求。同時，該泵還具備高壓縮比，N?的最大壓縮比超過1×10?，H?的最大壓縮比為1.5×10?，可形成穩定的超高真空環境，極限壓力低于1×10?? Pa（VG/ISO-B接口）/低于1×10?? Pa（CF接口）。

此外，TG1300M還具備省電設計，能夠在保證高抽速的同時，有效降低能耗，為企業節省運營成本。該泵還支持多種通信接口，便于與各種控制系統進行集成，實現遠程監控和自動化操作。同時，該泵符合CE、NRTL、SEMI-S2等國際安全標準，確保了產品在全球范圍內的通用性和安全性。

TG1300M的啟停時間均較短，啟動時間約為4～5分鐘，停止時間也為4～5分鐘，提高了生產效率。此外，該泵還具備低振動、無需調整、自動校準、可控制轉子旋轉速度等優點，為用戶提供了更加便捷、穩定的使用體驗。