日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG1003

日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG1003

日本OSAKA大阪真空株式會社推出的TG1003滾珠軸承型渦輪分子泵，是一款高效、耐用且設計緊湊的真空設備，專為高真空環境設計。該泵采用油脂潤滑滾珠軸承系統，結構輕巧，重量輕，便于安裝和移動。其核心優勢在于的抗沖擊性能，可承受超過400次大氣沖擊，適用于安裝在移動設備或運動部件上，如排氣車、腔室門等，即使在泵運行時也可移動，甚至能在地震等環境下穩定重啟。

TG1003具備出色的抽氣能力，抽速可達到1000L/s（N?），附加金屬保護網時為950L/s，H?排氣速度為750L/s。最大壓縮比N?為1×10?，H?為1.5×10?，極限壓力低于1×10?? Pa（VG/ISO-B法蘭）或1×10?? Pa（CF法蘭），滿足超高真空需求。其啟動時間僅需數分鐘，停機時間也相對較短，支持快速工藝切換，提升生產效率。

該泵還注重節能與環保，支持風冷模式，允許環境溫度范圍10-32℃，適應不同工作環境。此外，TG1003符合NRTL/SEMI-S2/CE安全標準，集成RS232C串行通信接口，支持遠程監控與數據傳輸，便于系統集成與管理。

TG1003廣泛應用于半導體制造、電子槍排氣、離子源排氣、FPD制造、表面處理、分析檢測設備、管材制造、光學元件制造、加速器、輻射設施及核聚變研究等領域。其小巧尺寸與自由安裝設計，使其成為實驗室、生產線及移動設備的理想選擇。