日本OTSUKA大塚西南代理膜厚監(jiān)測(cè)儀FE-300F

日本OTSUKA大塚西南代理膜厚監(jiān)測(cè)儀FE-300F

日本OTSUKA大塚電子FE-300F薄膜厚度監(jiān)測(cè)儀，是面向工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)與常規(guī)實(shí)驗(yàn)室推出的緊湊型非接觸膜厚測(cè)量設(shè)備，以“小型化、高精度、易操作"為核心設(shè)計(jì)理念，在兼顧專業(yè)級(jí)檢測(cè)能力的同時(shí)大幅降低使用門檻，是薄膜生產(chǎn)、涂層質(zhì)控場(chǎng)景的高性價(jià)比優(yōu)選方案。

這款設(shè)備依托大塚電子自主研發(fā)的高精度光學(xué)干涉分光技術(shù)，通過(guò)采集樣品表面與基底界面的反射干涉光譜，結(jié)合峰谷法、頻率分析法、非線性最小二乘法等多種解析算法，無(wú)需接觸樣品即可完成無(wú)損測(cè)厚，避免傳統(tǒng)接觸式測(cè)厚可能造成的軟膜、超薄涂層劃傷問(wèn)題。它的測(cè)量光斑僅為φ1.2mm，可覆蓋3nm至35μm的寬量程范圍，既可以精準(zhǔn)檢測(cè)納米級(jí)的光學(xué)功能膜，也能滿足微米級(jí)厚涂層的測(cè)量需求，同時(shí)支持最多10層多層膜的同步解析，還可同步輸出折射率n、消光系數(shù)k等光學(xué)常數(shù)參數(shù)。

FE-300F機(jī)身尺寸僅為W85.6×D225～235×H151mm，整機(jī)重量?jī)H2.76kg，體積小巧便于在產(chǎn)線工位、實(shí)驗(yàn)臺(tái)有限空間內(nèi)靈活布置，工作溫度適配-10℃至+50℃的寬溫環(huán)境，可適應(yīng)工業(yè)車間的復(fù)雜工況。設(shè)備操作流程經(jīng)過(guò)大幅簡(jiǎn)化，無(wú)需專業(yè)光學(xué)背景的操作人員也能快速完成參數(shù)設(shè)置與測(cè)量，單次檢測(cè)最快僅需0.1秒，適配產(chǎn)線在線抽檢的效率要求。

它的適用場(chǎng)景覆蓋極為廣泛：功能薄膜領(lǐng)域可檢測(cè)ITO透明導(dǎo)電膜、AR增透膜、PET保護(hù)膜、硬涂層、防指紋膜等；半導(dǎo)體領(lǐng)域可適配硅片氧化膜、氮化膜、光刻膠、SiC/GaN等化合物半導(dǎo)體薄膜；同時(shí)也能滿足DLC類金剛石涂層、光學(xué)濾光片、FPD顯示面板有機(jī)膜等場(chǎng)景的檢測(cè)需求。