美國(guó)KLA科磊Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀

美國(guó)KLA科磊Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀

美國(guó)KLA科磊的Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀是一款高精度、多功能的表面形貌測(cè)量設(shè)備，專為科研與工業(yè)應(yīng)用設(shè)計(jì)。以下是對(duì)該產(chǎn)品的詳細(xì)簡(jiǎn)介：

產(chǎn)品概述

Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀采用創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)，結(jié)合接觸式探針測(cè)量，實(shí)現(xiàn)了從納米級(jí)到1200微米（1.2毫米）的2D和3D臺(tái)階高度測(cè)量。該設(shè)備不僅支持臺(tái)階高度的精確測(cè)量，還能進(jìn)行粗糙度、波紋度、翹曲度和應(yīng)力的量化分析，為材料表面形貌研究提供了全面的解決方案。

技術(shù)特點(diǎn)

1. ?高分辨率與大垂直范圍?：光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供了亞埃級(jí)的分辨率和1200微米的垂直測(cè)量范圍，確保了測(cè)量的高精度和廣泛適用性。

2. ?低觸力測(cè)量?：探針作用力可調(diào)節(jié)范圍從0.03毫克至15毫克，適用于軟材料（如光刻膠）和硬材料的測(cè)量，避免了對(duì)樣品的損傷。

3. ?多種探針選擇?：提供多種探針針尖半徑（從100納米到50微米不等）和角度（20度至100度），以適應(yīng)不同結(jié)構(gòu)和材料的測(cè)量需求。

4. ?優(yōu)良的圖像控制與校正?：配備500萬(wàn)像素高分辨率彩色相機(jī)，支持梯形失真校正和圓弧校正，消除了側(cè)視視圖和探針弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差。

5. ?用戶友好的軟件界面?：Apex分析軟件具備調(diào)平、濾波、臺(tái)階高度、粗糙度和表面形貌分析技術(shù)，支持ISO粗糙度計(jì)算方法和多種語(yǔ)言，便于數(shù)據(jù)分析和報(bào)告編寫。

應(yīng)用領(lǐng)域

Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、LED、太陽(yáng)能、MEMS、汽車和醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)。它能夠量化蝕刻、濺射、沉積、旋涂、化學(xué)機(jī)械研磨等工藝中沉積或去除的材料厚度，測(cè)量樣品表面的粗糙度和波紋度，以及評(píng)估翹曲度和應(yīng)力變化，為工藝優(yōu)化和質(zhì)量控制提供了重要數(shù)據(jù)支持。