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美國KLA科磊Tencor® P-17探針式輪廓儀P-17探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)(R&D)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達(dá)200毫米，無需拼接。

美國KLA科磊Tencor® P-7 探針式輪廓儀Tencor P-7探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)(R&D)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達(dá)150毫米，無需拼接。

美國KLA科磊HRP®-260探針式輪廓儀 HRP®-260 是一個(gè)高分辨率、自動(dòng)化探針式輪廓儀，提供從幾納米到 300 微米的臺階高度測量功能。P-260支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測量，掃描范圍可達(dá) 200 毫米且無需拼接。HRP®-260 配置了與 P-260 相同的功能，但增加了高分辨率樣品臺以獲得類似 AFM 的掃描結(jié)果。HRP 系列高分辨率輪廓儀具有*的圖形識別算法

美國KLA科磊Tencor® P-170 探針式輪廓儀Tencor P-170是一款自動(dòng)化輪廓儀，可為生產(chǎn)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，掃描范圍可達(dá)200毫米而無需拼接。Tencor P-170具有*的圖形識別算法、增強(qiáng)的光學(xué)系統(tǒng)和*的樣品臺，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的性能和系統(tǒng)之間程式傳輸?shù)臒o縫銜接 - 這是實(shí)現(xiàn)全天候生產(chǎn)的關(guān)鍵。

美國KLA科磊Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀 Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺階高度。D-600 還支持2D和3D的粗糙度測量，以及用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)的2D翹曲度和應(yīng)力測量。D-600 包含一個(gè)帶有200 毫米樣品載臺的電動(dòng)樣品臺和具有增強(qiáng)影像控制的高級光學(xué)器件。

美國KLA科磊Alpha-Step®D-500 探針式輪廓儀 Alpha-Step D-500探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D臺階。D-500也支持在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)中對粗糙度、彎曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D測量。D-500探針式輪廓儀搭載了140毫米手動(dòng)載臺和具有增強(qiáng)影像控制的高級光學(xué)系統(tǒng)。